MEMS加工的研究现状如何

2021-10-08

据博研小编的了解，自1989年制造出直径只有头发丝大小的微马达以来，MEMS加工技术就开始受到世界各国的高度重视。1993年美国ADI公司采用MEMS加工技术成功地将微型加速度计商品化，并大批量用于汽车防撞气囊，标志着MEMS加工技术商品化的开端。

1992年美国国家关键技术管理机构计划把“微米级和纳米级制造”列为“在经济繁荣和国防安全两方面都至关重要的技术”。

国外许多大型企业、实验室及高校都积极投入到MEMS研究的各个领域，并取得了许多成就。美国加州斯坦福大学与加州理工学院协作研究开发了脑细胞组织探针，还与一些公司联手开发了深度活性离子蚀刻技术。

有一些大学正在进行微机械加工生物传感器高密度阵列结构。朗讯公司的贝尔试验室在光开关、光调制器、分插复用器上也取得了突破。日本东北大学正在研制一种用形状记忆合金作为驱动器的自主式移动内用窥镜系统。

加拿大某大学研制出最高分辨率为10nm 的遥控纳米机器人。近年来国际上MEMS加工的专利数正呈指数增长，说明MEMS加工技术的全面发展和产业快速起步的阶段已经来到。

目前，国外已研制成的MEMS器件有微阀门、微弹簧、微齿轮、微马达、微陀螺、微型惯性测量组合、硅微压力传感器和微加速度计等已成为商品，并且应用领域十分广泛。

此外，MEMS加工技术已开始在我国的社会生活中发挥作用，如微操作机器人已开始用于生物工程中的细胞分割、显微手术和生物芯片的制造工艺中；微传感器已用于飞行器的加速度、压力等参数的实时测量；纳米薄膜润滑技术已用于“长征三号”火箭和计算机硬盘的制造工艺上。

但是博研小编发现，由于历史原因造成的条块分割、力量分散，而且产业界对MEMS的认识尚不明确，对MEMS加工的研究还主要是国家投资，因而投资力度严重不足，尽管已有不少成果，但在质量、性能价格比及商品化等方面与国外的差距还很大。

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