光刻板有哪些类别？

博研小编稍微科普一下，光掩膜主要分两个组成部分，即基板和不透光材料，不同光刻板的不透光材料有所不同。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。不同种类光掩膜使用的不透光材料不同。

光掩膜分为铬版（苏打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃）、干版、菲林、凸版（APR）。铬版的不透光层是通过溅射方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小，不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶，硬度小且易吸附灰尘，不过干版还有包膜和超微颗粒干版，后者可应用于芯片制造。

光刻板根据基板材质的不同可分为石英光刻板、苏打光刻板和其他（包含凸版、菲林）。石英光刻板使用石英玻璃作为基板材料，光学透过率高，热膨胀率低，相比苏打玻璃更为平整耐磨，使用寿命长，主要用于高精度光刻板；

苏打光刻板则使用苏打玻璃作为基板材料，光学透过率较高，热膨胀率相对高于石英玻璃，平整度和耐磨性相对弱于石英玻璃，主要用于中低精度光刻板；而凸版使用不饱和聚丁二烯树脂作为基板材料，主要用于液晶显示器（LCD）制造过程中的定向材料移印；菲林使用PET作为基板材料，主要用于电路板掩膜。

根据下游应用行业的不同，可分为平板显示光刻板、半导体光刻板、触控光刻板和电路板光刻板。

生产掩膜板的工艺流程主要包括CAM图档处理、光阻涂布、激光光刻、显影、蚀刻、脱膜、清洗、宏观检查、自动光学检查、精度测量、缺陷处理、贴光学膜等环节。

光刻板产业链概况：

光刻板的主要原材料包括掩膜基板、光学膜、化学试剂以及包装盒等辅助材料，光刻板主要应用于平板显示、半导体、触控和电路板的制造过程，是必不可少的关键材料之一。

平板显示、半导体等中游电子元器件厂商的终端应用主要包括消费电子（电视、手机、笔记本电脑、平板电脑、可穿戴设备）、家用电器、车载电子、网络通信、LED照明、物联网、医疗电子以及工控等领域。主要客户为半导体厂商英特尔、三星、台积电等以及显示屏厂商京东方、华星光电等。

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