光刻板怎么样

2022-01-20

博研微纳小编来为大家介绍一下光刻板到底怎么样。

　　1.光刻板由什么组成

　　光刻板主要分两个组成部分，即基板和不透光材料，不同光刻板的不透光材料有所不同。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。不同种类光刻板使用的不透光材料不同。光刻板分为铬版(苏打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃)、干版、菲林、凸版(APR)。铬版的不透光层是通过溅射方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小，不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光刻板为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶，硬度小且易吸附灰尘，不过干版还有包膜和超微颗粒干版，后者可应用于芯片制造。

　　2.光刻板的工作原理

　　光刻板的功能类似于传统照相机的底片。制造商通常根据客户所需要的图形，用光刻机在原材料上光刻出相应的图形，将不需要的金属层和胶层洗去，即得到光刻板。光刻板的原材料光刻板基板是制作微细光刻板图形的感光空白板。通过光刻制版工艺，将微米级和纳米级的精细图案刻制于基板上制作成光刻板。光刻板的作用主要体现为利用已设计好的图案，通过透光与非透光方式进行图像(电路图形)复制，从而实现批量生产。

　　3.光刻板行业发展

　　随着电子信息技术的日新月异，5G 技术和人工智能带动下游终端电子产品的更新换代速度越来越快，以平板电视、笔记本电脑、数码相机、智能手机等产品为主的消费类电子产品产销量持续增长，为平板显示、半导体芯片、触控、电路板等电子元器件相关行业带来巨大的市场空间，间接带动了光刻板行业的发展。

　　同时，电子元器件制造商为了满足其下游产品的多功能、小型化、便携性等需求，不断加大技术投入，开发新材料、新技术以及研发新产品，这也为光刻板行业的发展带来了更多市场需求。

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