LIGA是什么样的MEMS加工技术

2022-03-15

据博研小编了解，LIGA加工是德语光刻、电镀(也称电铸)和压模(Abformung)的简称。LIGA技术可以加工金属、塑料等非硅材料，也可以加工深宽比大的零件，这是体微加工和表面微加工难以实现的。但MEMS加工工艺应以同步加速器辐射装置产生的高能辐射为主要加工方法，设备昂贵，投资大。

以LIGA工艺加工为例。首先，在金属底板上放置一层PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯、有机玻璃），然后放置模板，用同步加速器装置产生的高能射线蚀刻PMMA，最后形成所需的空腔，然后用电填充空腔，然后去除PMMA，得到所需的金属齿轮。

MEMS设备和系统的包装和测试也是MEMS加工技术发展的一个重要方面，由于该技术复杂，其成本有时在整个MEMS设备或系统中占很大比例。此外，基于MEMS设备的不同结构和功能，MEMS设备的包装具有多样性和复杂性，包装方法和质量对设备工作的可靠性有重大影响。

例如，MEMS设备或系统中具有运动功能的部件必须可靠地工作，从外部获取信息的传感结构（如压力计、硅麦克风）需要长期稳定地工作，这与传统的IC包装有很大的不同。因此，新包装技术的不断发展，如晶圆全硅包装技术，一次完成数千个设备的包装，可以大大降低体积，降低成本，提高设备或系统的可靠性。

由于MEMS设备结构和功能的多样性也决定了其测试的多样性。MEMS设备通常包括用于传感和执行的活动部件，需要测量动态参数，如微镜的稳定时间动态特性、传感器的位移范围和悬臂梁的谐振频率。在这种情况下，除了测量一般的电参数外，还需要精确、实时和高分辨率的无创检测技术。

MEMS设备动态特性的光学测量是一种有效的测试手段。先进的光学测量技术了解MEMS设备在开发过程中的全视觉动态响应，完成各种参数（尺寸、薄膜厚度、台阶高度、横截面、粗糙度、压力、静摩擦、弹性模量、响应时间、热膨胀、谐振频率等）的测量。

上一篇：MEMS器件设计工艺如何进一步优化下一篇：MEMS器件该怎么设计