微纳加工系统是什么

2022-02-28

微纳加工技术是指由这些元件组成的亚毫米、微米和纳米量级元件以及部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成和应用技术，涉及广泛的领域和多学科的交叉整合。其主要发展方向是微纳器件和微纳加工系统。微纳器件和系统是集成电路生产中开发的一系列特殊技术。微传感器、微执行器等设备和系统的开发具有微型、批量、低成本的特点，对现代生活和生产发挥了巨大的促进作用，产生了许多新兴产业。

博研微纳认为微纳加工技术是先进制造业的重要组成部分，是衡量国家高端制造业水平的标志之一。它具有多学科交叉和极端制造元素的特点，在促进科技进步、促进产业发展、促进科技进步、确保国防安全方面发挥着关键作用。微纳加工技术的基本手段包括微纳加工方法和材料科学方法。显然，微纳加工技术与微电子技术密切相关。

微纳加工大致可以分为自上而下和自下而上两类。自上而下是从宏观对象出发，根据光刻工艺加工材料或原材料，最小结果的尺寸和精度通常由光刻或腐蚀环节的分辨率决定。自下而上技术是从微观世界出发，通过控制原子、分子和其他纳米对象的相互作用，将各单元建立在一起，形成微纳结构和设备。

基于光刻工艺的微纳加工工艺主要包括以下工艺:掩模(mask)制备、图形形成与转移(涂胶、曝光、显影)、膜沉积、蚀刻、外延生长、氧化与掺杂等。在基板表面涂一层光敏介质的薄膜(抗蚀胶)，曝光系统将掩模板的图形投射到(抗蚀胶)膜上。光(光子)的曝光过程是通过光化学作用使抗蚀胶发生光化学作用，形成微图形的潜像，然后通过显影过程将剩余的抗蚀胶层转化为具有微图形的窗口。

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