微纳加工技术概念

博研微纳小编认为国防战略发展的需要和纳米精密产品高利润市场的吸引力，促进了微纳加工技术的快速发展。微加工技术的发展也促进了机械、电子、半导体、光学、传感器和测量技术以及材料科学的发展。

美国在微纳加工技术的发展中发挥着主导作用。由于电子技术、计算机技术、航空航天技术和激光技术的需要，美国于1962年开发了金刚石刀具超精细切割机床，解决了激光核聚变反射镜、天体望远镜等光学部件和计算机磁盘加工，奠定了微加工技术的基础，随后西欧和日本微加工技术发展迅速。

微纳加工技术是一种新兴的综合加工技术。它整合了现代机械、光学、电子、计算机、测量和材料等先进技术成果，使加工精度从20世纪60年代初的微米水平提高到目前的10nm水平，在几十年内提高了1~2个数量级，大大提高了产品的性能和可靠性。

目前，微纳加工技术已成为国家科技发展水平的重要标志。随着各种新型功能陶瓷材料的成功开发和以这些材料为关键部件的各种装置的高性能，功能陶瓷元件的加工精度达到纳米级甚至更高，有效地促进了微纳加工技术的进步。近年来，纳米技术的出现挑战了微纳加工的极限加工精度——原子级加工。

根据加工方法，微纳加工可分为四类:切削加工、磨料加工(分为固结磨料和游离磨料)、特种加工和复合加工。

微纳加工也可分为传统加工、非传统加工和复合加工。传统加工是指刀具切割、固有磨料和游离磨料；非传统加工是指利用各种能量加工材料；复合加工是各种加工方法的复合作用。

微纳加工技术也可分为机械加工、化学腐蚀、能量束加工、复合加工、隧道扫描显微技术加工等方法。

机械加工方法包括单晶金刚石刀具的超精密切割、金刚石砂轮和CBN砂轮的超精密磨削和镜面磨削、磨削、砂带抛光等固定磨料工具的加工、磨削、抛光等自由磨料的加工。能束加工可以去除加工对象、添加和表面改性。

例如，激光切割、钻孔和表面硬化改性。光刻、焊接、微米和纳米钻孔、切割、离子和等离子体蚀刻等。能量束的加工方法还包括电火花加工、电化学加工、电解射流加工、分子束延伸等。STM加工是最新的技术，可以进行原子级操作和原子去除、添加和搬迁。

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