微纳加工技术目前有哪些特点

2021-08-11

基础科学的研究发展往往需要技术科学提供强有力的支持,要想探索在纳米尺度下物质的变化规律、新的性质和器件功能及可能的应用领域，同样离不开相应的技术手段。微纳加工技术作为当今高技术发展的重要领域之一，是实现功能结构与器件微纳米化的基础。

借助微纳加工，人们可以按照需求来设计、制备具有优异性能的纳米材料或纳米结构及器件与装置，发展探测和分析纳米尺度下的物理、化学和生物等现象的方法和仪器，准确地表征纳米材料或纳米结构的物性，探索纳米尺度下物质运动的新规律和新现象，去发现现有知识水平未能理解和预测的现象和过程，发展新的纳米材料、功能器件直至技术。

当前微纳结构加工技术有如下几个特点：

微纳加工技术是—个多学科的制造系统工程

它不是孤立的加工方法和单纯的工艺过程，它涉及超微最分离、结合技术、高质量的材料、高稳定性和高净化的加工环境、高精度的量测试技术以及高可靠性的工况监控和质量控制等。

微纳加工技术是一门多学科的综合高新技术

微纳结构加工技术的涉及面极广，其加工方法包括分离、结合、变形三大类、遍及传统加工工艺和非传统加工工艺。

微纳结构加工技术的加工基础是平面工艺

平面工艺是制作半导体基片、电子元件和电子线路及其连线、封装一整套制造工艺技术，它主要同绕集成电路的制作，现在已在发展立体工艺技术。

微纳结构加工技术与自动化技术联系紧密

为保证加工质量及其稳定性．必须采用自动化技术来进行加工。

微纳结构加工投术检测—体化

微纳加工过程中在位检测和在线检测的检验、测试手段必须要与之相匹配。

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