什么是微纳加工？怎么起源的？

2021-09-01

博研小编给大家稍微普及一下，微纳加工是制造微米级或更小的微型结构的过程。从历史上看，最早的微制造工艺用于集成电路制造，也称为“ 半导体制造 ”或“半导体器件制造”。

在过去的二十年中，微机电系统、微系统、微机械及其子领域，微流体学片上实验室，光学MEMS、RF MEMS、PowerMEMS、BioMEMS及其扩展到纳米级（例如，用于纳米机电系统的NEMS）已经重新使用，调整或扩展了微制造方法。平板显示器和太阳能电池也正在使用类似的技术。

各种设备的小型化在科学与工程的许多领域提出了挑战：物理、化学、材料科学、计算机科学、超精密工程、制造工艺和设备设计。它也引起了各种各样的跨学科研究。微纳加工的主要概念和原理是微光刻、掺杂、薄膜、蚀刻、粘接和抛光。

应用领域

可以应用到微型设备，包括：

集成电路（“微芯片”）

微机电系统（MEMS）和微光电系统（MOEMS）

微流体装置（喷墨打印头）

太阳能电池

平板显示器

传感器（微传感器）（生物传感器，纳米传感器）

功率MEMS，燃料电池，能量收集器/清除剂

起源

微纳加工技术起源于微电子工业，即使使用玻璃，塑料和许多其他基材，该设备通常还是在硅晶片上制造的。微加工、半导体加工、微电子制造、半导体制造、MEMS制造和集成电路技术是代替微加工的术语，但微加工是广义的术语。

传统的加工技术（例如放电加工，火花腐蚀加工和激光钻孔）已从毫米尺寸范围扩展到微米范围，但博研小编认为它们并没有共享微电子起源的微纳加工的主要思想：复制和并行制造数百个或多个数百万个相同的结构。这种平行性存在于各种印记，铸造和模塑技术中，这些技术已成功应用于微区域。例如，DVD的注射成型涉及在光盘上制造亚微米尺寸的斑点。

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