如何生产出一个合格的光刻板

生产制造光刻板的核心工序包括光刻、清洗、显影、蚀刻、检查、修补、贴膜等环节，其技术水平主要体现在：图形设计处理、光刻工序工艺、显影蚀刻工序工艺、测量和检查分析技术、缺陷控制与修补、洁净室建设等方面。

（1）图形设计：收到客户图形后，通过专业设计软件对客户的图形做二次编辑处理与检查。

（2）图形转换：将客户要求的版图设计数据分层，运算。再按照相应的工艺参数将文件格式转换为光刻设备专用的数据形式。

（3）图形光刻：通过光刻机进行激光光束直写完成客户图形曝光。光刻板制造都是采用正性光刻胶，通过激光作用使需要曝光区域的光刻胶内部发生交联反应，从而产生性能改变。

（4）显影：将曝光完成后的光刻板显影，以便进行蚀刻。在显影液的作用下，经过激光曝光区域的光刻胶会溶解，而未曝光区域则会保留并继续保护铬膜。

（5）蚀刻：对铬层进行蚀刻，保留图形。在蚀刻液的作用下，没有光刻胶保护的区域会被腐蚀溶解，而有光刻胶保护的区域的铬膜则会保留。

（6）脱膜：光刻胶的保护功能已经完成，脱膜工序通过脱膜液去除多余光刻胶。

（7）清洗：将光刻板正、反面的污染物清洗干净，为缺陷检验做准备。

（8）尺寸测量：按照品质协议对光刻板关键尺寸（CD 精度）和图形位置

（TP 精度）进行测量，判定尺寸的准确程度。

（9）缺陷检查：对照客户技术/品质指标检测光刻板制版过程产生的缺陷并记录坐标及相关信息。光刻板的基本检查主要有：基板、名称、版别、图形、排列、膜层关系、伤痕、图形边缘、微小尺寸、绝对尺寸、缺陷检查等。

（10）缺陷修补：对检验发现缺陷进行修补。修补包括对丢失的细微铬膜进行 LCVD 沉积补正以及对多余的铬膜进行激光切除等。

（11）清洗：再次清洗为贴合光刻板 Pellicle 做准备。

（12）贴膜：将 Pellicle 贴合在光刻板之上，降低下游客户制造过程中灰尘造成的不良率。

（13）检查：对光刻板作最后检测工作，以确保光刻板符合品质指标。

（14）出货：对光刻板进行包装，然后发货。