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微热板

MEMS器件设计 - 微热板

微热板芯片一般用于MEMS气体传感器，集成微型加热器和叉指电极，微型加热器用于为气体传感器提供合适的工作温度，叉指电极用于检测气敏材料的电阻变化。
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●  集成微型加热器和叉指电极，面积小，利于集成
●  功耗低
●  可靠性高
●  控温准
●  尺寸：1.0*1.0*0.3mm
●  加热丝材料：铂
●  热响应时间：<10ms
●  工作电压：<4V
典型应用：
●  用于气体传感器