MEMS芯片 - 气流传感器芯片

热式气体流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器，利用MEMS热式原理对管路气体介质进行流量监测。

气体流量传感器芯片具有功耗低、精度高等特点，在工业控制、医疗、家电、暖通空调、仪器仪表等领域有着广泛的应用。

● 热式原理

● 功耗低、精度高

● 高可靠性、高一致性

● 尺寸、测量流速等可定制

● 加热电阻(Ω)：300±10%

● 热电堆电阻(KΩ)：70±10%

● 热稳定时间(ms)：≤300

● 加热丝功率(mW)：≤20，@2V

典型应用：

● 工业控制、医疗应用、家电、暖通空调、仪器仪表