MEMS器件设计的关键是什么

2021-10-27

据博研小编了解，MEMS器件设计一般包括微结构设计、处理电路设计、封装设计等。国外在微结构设计、数模电路设计上取得不错的成就，微结构与电子线路整合的一体化设计或整体布局明显优于国内水平。国内在结构仿真分析、优化算法方面有一定优势。

MEMS器件设计的关键在于多学科之间的交叉，通过不同的材料加工与方法进行综合，实现多物理域的协调，从而使得MEMS多域耦合更好的配合运行。

MEMS系统设计的复杂性较高，对于各方面工作的进行有一定的难度，在实际的操作中可以通过层级系统、非层级系统和混合层级系统等进行具体的划分，从而可以进行细化研究。

层级系统以分级的方式进行划分，其形成一种树状结构，其系统构造较为简单。非层级系统是网状结构，多物理域相互之间的联系紧密，形成不同的交互关系。混合层级系统是树状与网状的混合，对于系统的划分有着更大的优势，在MEMS器件优化设计中的应用是比较广泛的。

MEMS器件的优化主要分为四个框架，分别是系统结构、封装子系统、非MEMS子系统详细设计、器件结构。对于非MEMS子系统详细设计和封装子系统需要进行重点的详细设计，器件结构也需要关注生产成本和驱动方式，从加工工艺的提高等方面入手，提高系统的性能与安全。

博研小编了解到MEMS器件多学科优化设计是根据其系统的复杂性进行的，多个领域的交叉配合，对方案设计也提出了更高的要求，通过对子系统的优化，并且以其为基础进行系统的整合，充分体现子系统的优势。在系统的优化设计中，子系统既可以独立运行，也可以结合进行，实现信息更好的交流，为数据的分析提供更多的理论依据。

上一篇：MEMS器件设计与制造关键靠哪些技术下一篇：MEMS加工过程中会用到哪些技术