电子束光刻加工的三个“度”

电子束光刻加工的三个“度”是不常被提及的功绩数字，其实就是在光刻加工中遇到的：解析度、缝合度、叠加度。常常和设备有关。

解析度：电子束光刻的分辨率是可以图案化的特征的最小尺寸。这取决于所用抗蚀剂的类型、抗蚀剂的厚度、基材的类型和操作条件。

缝合精度：光刻加工中，在没有载物台移动的情况下，一个字段的最大写入区域通常为 1-2 毫米。如果需要对较大的区域进行图案化，则需要将它们细分为多个区域，然后使用舞台运动将这些区域缝合在一起。这些字段对接中的任何错误都称为针迹错误。对于具有激光干涉仪台的电子束光刻系统，拼接误差在几纳米到几十纳米之间。

叠加精度：几乎所有实际设备都需要几个光刻和图案转移步骤。相对于彼此或预定义基准对不同光刻级别进行图案化的过程称为对齐。不同光刻层之间的不匹配称为重叠误差。对于能够自动检测对准标记的电子束光刻系统，覆盖精度通常为几十纳米。覆盖很大程度上取决于对准标记的质量和标记检测技术。