-苏州博研微纳

6大主要的MEMS加工工艺

2022/03/24

硅微机械加工工艺是制作微传感器、微执行器和 MEMS 的主流技术 ,是近年来随着集成电路工艺发展起来的 ,它是离子束、电子束、分子束、激光束和化学刻蚀等用于微电子加工的技术...

光刻板的技术含量高不高

2022/03/23

博研给大家强调一下，光刻板是整个芯片的机密所在，没有光刻板，光刻机是无法准确加工芯片的。拿走光刻板，就可以复制任何公司的芯片，就像拿走印钱的电板可以制造逼真的假钱...

第三代半导体材料的优势及应用有哪些

2022/03/23

博研发现随着化合物半导体制造产业的不断发展，到目前为止，第一代、第二代半导体材料工艺已经逐渐达到物理天花板，想要突破目前技术瓶颈，只能从第三代半导体材料入手，而且...

MEMS加工工艺中的表面牺牲层工艺研究

2022/03/22

在 MEMS加工制备过程中，开关梁作为具有极低间隙的悬浮部件，保证其完整释放十分重要。制备了以聚酰亚胺为牺牲层的低下拉电压开关，采用反应离子刻蚀（RIE）技术对牺牲层进行刻...

微纳加工技术在光电子领域起到什么作用

2022/03/22

博研小编发现在过去的50多年中，微纳加工技术的进步极大地促进了微电子技术和光电子技术的发展。微电子技术的发展以超大规模集成电路为代表，集成度以每18个月翻一番的速度提...

MEMS器件该怎么设计

2022/03/15

MEMS器件设计的重要性是不言而喻的。良好的MEMS设计可以给消费者带来便利，使企业在许多企业中脱颖而出，使销售市场活跃。之间的正式密切关系可以突出MEMS设计的重要性。那么，在...

LIGA是什么样的MEMS加工技术

2022/03/15

据博研小编了解，LIGA加工是德语光刻、电镀(也称电铸)和压模(Abformung)的简称。LIGA技术可以加工金属、塑料等非硅材料，也可以加工深宽比大的零件，这是体微加工和表面微加工难以实...

2022/03/15

博研小编认为，在当前信息时代，科技实现了快速发展，应用需求不断提高，对微纳加工的技术要求更高，要求加工的材料分辨率更高，加工技术可以应用于各种材料，实现真正的三维...

MEMS器件设计封装要考虑什么

2022/03/07

MEMS器件设计包装的形式是将基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。博研通过研究发现，基于MEMS的典型产品中，设计包装成本几乎占所有材料和组装成本的20%~40%。由于生产因素的影响...