-苏州博研微纳

微纳加工的关键技术有哪些

2021/10/11

据博研小编了解，典型的微纳加工技术主要划分为：硅基微纳加工技术和非硅基微纳加工技术。 (1)硅基材料微纳加工技术目前主要的体硅工艺包括湿法SOG(玻璃上硅)工艺、干法SOG工艺...

MEMS加工的研究现状如何

2021/10/08

据博研小编的了解，自1989年制造出直径只有头发丝大小的微马达以来，MEMS加工技术就开始受到世界各国的高度重视。1993年美国ADI公司采用 MEMS加工技术成功地将微型加速度计商品化，...

MEMS器件设计需要哪些技术及方法

2021/10/08

博研小编要先提醒大家，加强对 MEMS器件设计关键技术的研究具有很大的现实意义，发现当前技术中存在的不足，提出针对性的指导建议，在保证传感器性能满足要求的同时，降低生产...

多晶硅表面微纳加工技术介绍

2021/10/08

据博研小编了解，多晶硅表面微纳加工是一种制造微机电系统（MEMS）的技术，其基础是用于制造集成电路的制造方法和工具集。从历史上看，多层多晶硅制造的主要障碍与重复薄膜沉...

MEMS加工采用什么技术

2021/09/22

要想知道 MEMS加工采用的是什么技术，那么就需要先知道MEMS是什么，博研小编先为大家科普一下。 MEMS中文叫微机电系统，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米...

什么是半导体材料

2021/09/22

据博研小编的了解，半导体材料是指电导率介于金属与绝缘体之间的材料，电导率在欧/厘米之间，一般情况下电导率随温度的升高而增大。半导体材料是制作晶体管、集成电路、电力...

详解微纳加工工艺：光刻

2021/09/22

博研小编给大家普及一下，光刻是通过一系列生产步骤，将晶圆表面薄膜的特定部分除去的微纳加工工艺。光刻生产的目标是根据电路设计的要求，生成尺寸精确的特征图形，并且在晶...

表面硅MEMS加工技术是什么

2021/09/11

博研小编给大家普及一下，表面硅 MEMS加工技术是在集成电路平面工艺基础上发展起来的一种MEMS工艺技术。它利用硅平面上不同材料的顺序淀积和选择腐蚀来形成各种微结构。表面硅...

2021/09/11

博研小编先给大家普及一下，第3代半导体是指以氮化镓、碳化硅、金刚石、氧化锌为代表的宽禁带半导体材料。与传统的第1代、第2代半导体材料硅和砷化镓相比，第3代半导体具有禁...