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行业动态
2025/04/08
MEMS微纳加工技术:原理、工艺与应用全解析
微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical Systems)微纳加工技术是一种结合半导体工艺和机械微加工的技术,用于制造微型传感器、执行器及集成化功能器件。其核心在于通过微米/纳米级加...
2025/04/01
镀膜工艺有哪几种?应用在哪些领域?
镀膜工艺是一种通过物理或化学方法在材料表面沉积一层或多层薄膜的技术,以改变基材的表面性能(如光学、电学、机械、耐腐蚀等)。以下是主要镀膜工艺及其应用领域的详细介绍...
2025/03/26
刻蚀工艺及其在MEMS加工中的应用
1. 刻蚀工艺概述 刻蚀(Etching)是微纳加工中的关键工艺,用于选择性去除材料,从而在基底上形成精细结构。根据实现方式,刻蚀主要分为湿法刻蚀和干法刻蚀两大类。 湿法刻蚀利用...
MEMS器件设计封装要考虑什么
2022/03/07
MEMS器件设计 包装的形式是将基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。博研通过研究发现,基于MEMS的典型产品中,设计包装成本几乎占所有材料和组装成本的20%~40%。由于生产因素的影响...
MEMS加工是种怎样的技术工艺
2022/03/07
让博研小编先解释一下什么是MEMS。MEMS的全称是Microelectromechanicalsystems,这个词让老美读起来绕口而行,中文称之为微机械机电系统。 MEMS加工 技术的快速发展是由于传统机电工艺制成的...
微纳加工技术概念
2022/03/07
博研微纳小编认为国防战略发展的需要和纳米精密产品高利润市场的吸引力,促进了 微纳加工 技术的快速发展。微加工技术的发展也促进了机械、电子、半导体、光学、传感器和测量技...
几种主流MEMS器件设计原理解析
2022/02/28
据博研微纳小编了解,常见的 MEMS器件设计 产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等...
【科普】MEMS加工芯片有哪些步骤?
2022/02/28
MEMS加工 芯片的工艺以成膜工序、光刻工序、蚀刻工序等常规半导体工艺流程为基础。 下面博研微纳小编将介绍MEMS加工工艺的部分关键技术。 1.晶圆-SOI晶圆。 SOI是指在氧化膜上形成单...
微纳加工系统是什么
2022/02/28
微纳加工技术是指由这些元件组成的亚毫米、微米和纳米量级元件以及部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成和应用技术,涉及广泛的领域和多学科的交叉整合。其主要发展方...
微纳加工丨微纳压印中压电平台的应用
2022/02/17
在过去几十年的发展中, 微纳加工 技术促进了集成电路的迅速发展,实现了器件的高集成度,微纳加工技术是人类认识学习微观世界的工具,通过理解这一技术可以帮助我们更好认识微...
博研微纳为你讲讲微纳加工技术在光电子领域有哪些应用
2022/02/10
在过去的50年里, 微纳加工 技术的进步极大地促进了微电子技术和光电子技术的发展。微电子技术的发展以超大型集成电路为代表,集成度每18个月翻一番,使得以90nm为最小电路尺寸的...
微纳加工技术全解析丨看完就不用找别的资料了(上)
2021/11/18
据博研小编了解, 微纳加工 技术是先进制造的重要组成部分,是衡量国家高端制造业水平的标志之一,具有多学科交叉性和制造要素极端性的特点,在推动科技进步、促进产业发展、拉...
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