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2025/04/08
MEMS微纳加工技术:原理、工艺与应用全解析
微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical Systems)微纳加工技术是一种结合半导体工艺和机械微加工的技术,用于制造微型传感器、执行器及集成化功能器件。其核心在于通过微米/纳米级加...
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2025/04/01
镀膜工艺有哪几种?应用在哪些领域?
镀膜工艺是一种通过物理或化学方法在材料表面沉积一层或多层薄膜的技术,以改变基材的表面性能(如光学、电学、机械、耐腐蚀等)。以下是主要镀膜工艺及其应用领域的详细介绍...
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2025/03/26
刻蚀工艺及其在MEMS加工中的应用
1. 刻蚀工艺概述 刻蚀(Etching)是微纳加工中的关键工艺,用于选择性去除材料,从而在基底上形成精细结构。根据实现方式,刻蚀主要分为湿法刻蚀和干法刻蚀两大类。 湿法刻蚀利用...
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详解微纳加工工艺:光刻
2021/09/22
博研小编给大家普及一下,光刻是通过一系列生产步骤,将晶圆表面薄膜的特定部分除去的 微纳加工 工艺。光刻生产的目标是根据电路设计的要求,生成尺寸精确的特征图形,并且在晶...
第三代半导体材料产业发展介绍(史上最全)
2021/09/11
博研小编先给大家普及一下,第3代半导体是指以氮化镓、碳化硅、金刚石、氧化锌为代表的宽禁带 半导体材料 。与传统的第1代、第2代半导体材料硅和砷化镓相比,第3代半导体具有禁...
石墨烯微纳结构加工有哪些技术
2021/09/11
在讲解石墨烯结构如何采用 微纳加工 方式制造之前,博研小编先为大家普及下石墨烯的优势。 石墨烯是一种由碳原子以SP2杂化构成的新型单原子层二维材料,其拥有许多独特的光电性...
什么是微纳加工?怎么起源的?
2021/09/01
博研小编给大家稍微普及一下, 微纳加工 是制造微米级或更小的微型结构的过程。从历史上看,最早的微制造工艺用于集成电路制造,也称为 半导体制造 或半导体器件制造。 在过去的...
微纳加工主要是用来做什么的
2021/08/25
微纳加工 是指制造特征尺寸以纳米为单位的结构,尤其是侧面小于20纳米的结构。目前的技术大多只允许在二维意义上进行微纳加工。 当前微纳加工的一个主要分支是属于纳米光刻技术...
微纳加工技术对社会的影响有哪些
2021/08/17
21世纪,人们仍会不断追求条件更好且可负担的医疗保健服务、更高的生活品质和质量更好的日用消费品,并竭力应对由能源成本上涨和资源枯竭所带来的风险等巨大挑战。它们也是采用...
微纳加工技术目前有哪些特点
2021/08/11
基础科学的研究发展往往需要技术科学提供强有力的支持,要想探索在纳米尺度下物质的变化规律、新的性质和器件功能及可能的应用领域,同样离不开相应的技术手段。 微纳加工 技术...
微纳加工技术有什么意义
2021/08/05
博研小编先为大家普及下相关概念。 微纳加工 技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术,涉及领域广...
电子束光刻加工应用和参数
2021/07/16
电子束光刻加工图案中的数字线宽与处理后的实际显影特征尺寸之间几乎总是存在差异。这是由抗蚀剂中的电子散射引起的。对于良好表征的过程,数字大小和实际大小之间通常存在固...
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