-苏州博研微纳

表面硅MEMS加工采用什么工艺？

2021/10/11

表面硅 MEMS加工技术是在集成电路平面工艺基础上发展起来的一种MEMS工艺技术，它利用硅平面上不同材料的顺序淀积和选择腐蚀来形成各种微结构。据博研小编了解，表面硅MEMS加工技...

MEMS加工的研究现状如何

2021/10/08

据博研小编的了解，自1989年制造出直径只有头发丝大小的微马达以来，MEMS加工技术就开始受到世界各国的高度重视。1993年美国ADI公司采用 MEMS加工技术成功地将微型加速度计商品化，...

MEMS器件设计需要哪些技术及方法

2021/10/08

博研小编要先提醒大家，加强对 MEMS器件设计关键技术的研究具有很大的现实意义，发现当前技术中存在的不足，提出针对性的指导建议，在保证传感器性能满足要求的同时，降低生产...

MEMS加工采用什么技术

2021/09/22

要想知道 MEMS加工采用的是什么技术，那么就需要先知道MEMS是什么，博研小编先为大家科普一下。 MEMS中文叫微机电系统，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米...

表面硅MEMS加工技术是什么

2021/09/11

博研小编给大家普及一下，表面硅 MEMS加工技术是在集成电路平面工艺基础上发展起来的一种MEMS工艺技术。它利用硅平面上不同材料的顺序淀积和选择腐蚀来形成各种微结构。表面硅...

mems微纳加工的主要流程有哪些？

2021/09/01

据博研小编了解， mems微纳加工实际上是在制造微型设备中使用的一系列技术。其中一些是非常古老的起源，与光刻或蚀刻之类的制造无关。抛光是从光学制造业借来的，许多真空技术...

MEMS加工通常采用哪些技术？

2021/09/01

据博研小编的了解， MEMS加工用到的技术有：图案化通常期望将膜图案化为不同的特征或在一些层中形成开口（或通孔）。这些特征在微米或纳米级，而构图技术正是定义MEMS加工的要...

MEMS加工精度是多少？

2021/08/25

据博研小编的了解， MEMS加工工艺流程主体为设计制造封装测试，制造是指前道微细加工，主要包括对半导体芯片进行曝光、刻蚀、掺杂、薄膜生长等工艺加工流程，是最为关键的环节...

典型的mems微纳加工流程与步骤介绍

2021/08/25

博研小编要提醒大家， mems微纳加工工艺是指所有工艺都是在圆片表面进行的MEMS制造工艺。表面微加工中，采用低压化学气相淀积这一类方法来获得作为结构单元的薄膜。表面微加工工...